| 番号 | メーカー | 機種名 | 構成 - モデル | 年式 | 仕様 | 備考 | |
| CL2220-5 | 小松 | NGｽﾄｯｶｰ・冷却&中間ストッカー | 基板中間ストッカー NO.5 |
ESS10M | 2011/ | 右→左（前固定） 基板中間ストッカー(前工程、後ろ工程の生産バランス調整最適) 基板収納枚数・・最大40枚 基板最大330×250m ２段式プッシャー内蔵 パスモードスイッチ付 (バッフアーに入れずに後ろに押し出す) |
KMB-05N |
| CL2220-7 | 小松 | NGｽﾄｯｶｰ・冷却&中間ストッカー | 基板中間ストッカー NO.6 |
ESS10M | 2007/ | 右→左（前固定） 基板中間ストッカー(前工程、後ろ工程の生産バランス調整最適) 基板収納枚数・・最大40枚 基板最大330×250m ２段式プッシャー内蔵 パスモードスイッチ付 (バッフアーに入れずに後ろに押し出す) |
KMB-07N |
| CL2220-8 | 小松 | NGｽﾄｯｶｰ・冷却&中間ストッカー | 基板中間ストッカー NO.7 |
ESS10M | 2007/ | 右→左（前固定） 基板中間ストッカー(前工程、後ろ工程の生産バランス調整最適) 基板収納枚数・・最大40枚 基板最大330×250m ２段式プッシャー内蔵 パスモードスイッチ付 (バッフアーに入れずに後ろに押し出す) |
KMB-08N |
| CL2250-1 | ワイエス | NGｽﾄｯｶｰ・冷却&中間ストッカー | 基板中間ストッカー NO.1 |
ESS10M | 2007/ | 右→左（前固定） 基板中間ストッカー(前工程、後ろ工程の生産バランス調整最適) 基板収納枚数・・最大40枚 基板最大330×250m ２段式プッシャー内蔵 パスモードスイッチ付 (バッフアーに入れずに後ろに押し出す) |
KMB-01N |
| CL2264-1 | ナガオカ | NGｽﾄｯｶｰ・冷却&中間ストッカー | NGｽﾄｯｶｰ | NS0010TP2EG | 2008/ | 左→右（前固定） NGストッカー ラック待機数： 1個 |
管理番号:KNGM-07N |
| CL2265-1 | 小松 | NGｽﾄｯｶｰ・冷却&中間ストッカー | NGｽﾄｯｶｰ (アンローダーと一式販売) |
ENG11 | 2007/5 | 左→右（前固定） NGストッカー(アンローダーと一式組み合わせ) アンローダー・・ラック待機数： 上1/下1個 プッシャーはNG側に2個付き |
管理番号: |
32: NGｽﾄｯｶｰ・冷却&中間ストッカー